Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем
Васильев В.Ю.
Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием многоуровневых систем металлизации интегральных микросхем по технологическим маршрутам, обобщенно называемым Back-End-Of-Lme (BEOL).…
Развернуть
| Издательство: | Новосибирский государственный технический университет |
ISBN: 978-5-7782-4726-0
Похожие книги
Вы можете посоветовать похожие книги по сюжету, жанру, стилю или настроению. Предложенные вами книги другие пользователи увидят здесь, в блоке «Похожие книги». Посоветовать книгу
