Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники

Учебное пособие дает студентам представление о современном состоянии исследований и разработок в области создания оборудования для пучково-плазменных технологий и о возможностях применения этих технологий в микро- и наноэлектронике. Особое внимание уделено современному высокотехнологичному оборудованию - НТК "НаноФаб-100", приобретенному Тюменским государственным университетом в рамках реализации ФЦП "Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008-2011 гг.".Пособие имеет целью активизацию у студентов практических навыков по применению пучково-плазменных технологий в микро- и наноэлектронике в соответствии с требованиями ФГОС ВО к содержанию курсов "Физические основы микро- и наносистемной техники", "Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий", "Вакуумная техника и технологии", "Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем".Предназначено для студентов направления 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника".