Автор

А. Столяров

1 книга
7 читателей

4.0

6оценок

5		2
4		3
3		1
2		0
1		0
без оценки		1

А. Столяров — новинки

2 произведения
1 издание на 2 языках

По дате

По популярности По дате По серии По циклам По алфавиту Произведения

- Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

0,0

Купить

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы Александр Столяров

ISBN:	5-94836-039-3
Год издания:	2006
Издательство:	Техносфера
Язык:	Русский

Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов