В книге описываются современные средства откачки, измерения полного и парциального давлений, методы измерения газовых потоков и обнаружения мест натекания. Рассматриваются принципы построения вакуумных систем и конструкции их основных элементов. Приводятся методы расчета вакуумных систем, сопровождаемые практическими примерами.
Предварительно излагаются необходимые сведения по физике разреженных газов, кинетической теории и взаимодействию между твердыми телами и соприкасающимися с ними газами.
Материал дается применительно к технике получения вакуума в производстве электровакуумных и полупроводниковых приборов.
Книга рассчитана на учащихся электровакуумных и радиотехнических техникумов, а также может служить пособием для лиц, имеющих дело с вакуумной техникой.
Анатолий Пипко
Основы вакуумной техники
