Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Александр Столяров, Валерий Киреев, А. Столяров
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в…
Развернуть
| Издательство: | Техносфера |
ISBN: 5-94836-039-3
Год издания: 2006
Язык: Русский
Жанры: Физика
Теги:
